SiO2溶胶抛光液

技术概述

  由分子自组装技术，控制溶胶颗粒生长，制备高均匀性的 SiO2 溶胶。

技术指标

技术特点

  SiO2 溶胶抛光液，均一性好，金属离子杂志含量低，接近国际先进水平。

应用领域

   晶圆精抛/CMP 逻辑芯片精细抛光。